Ringkes saka balok molekuler (MBE)
Teknologi teknologi rasuk Epitexy (MBE) dikembangake ing taun 1950-an kanggo nyiapake bahan film tipis kanthi nggunakake teknologi penguapan vakum. Kanthi pangembangan teknologi vufum ultra dhuwur, aplikasi teknologi wis ditambahi menyang bidang Ilmu semikonduktor.
Motivasi research bahan semikonduktor minangka panjaluk piranti anyar, sing bisa nambah kinerja sistem kasebut. Giliran, teknologi material bisa ngasilake peralatan anyar lan teknologi anyar. Epitexy molekuler (MBE) minangka teknologi vakum sing dhuwur kanggo wutah epitonduksi (biasane semikonduktor). Iki nggunakake balok panas utawa molekul sumber sumber daya siji. Karakteristik vakum ultra dhuwur saka proses kasebut ngidini metalalization ing-suah lan tuwuh saka bahan kanggo bahan ing permuksi semikonduktor sing ditandur, nyebabake introfaces gratis polusi.
Teknologi MBE
Epiteksi molekum sing ditindakake ing vacuum utawa vakum sing dhuwur (1 x 10-8Pa) lingkungan. Aspek sing paling penting yaiku epitizi molekul sing paling penting yaiku tingkat penakwéan sing kurang, sing biasane ngidini film kasebut tuwuh kanthi tingkat kurang saka 3000 nm saben jam. Tingkat pemendangan sing kurang mbutuhake vakum sing cukup dhuwur kanggo entuk kabersihan sing padha karo cara pemendakan liyane.
Kanggo nyukupi vakum ultra dhuwur ing ndhuwur, piranti MBE (sel knudsen) duwe lapisan pendinginan, lan lingkungan lingkungan sing dhuwur banget bisa dikendhaleni kanthi nggunakake sistem sirkulasi nitrogen cair. Cairan nitrogen Cools suhu internal piranti menyang 77 kelvin (-196 ° c). Lingkungan suhu sing kurang bisa luwih nyuda konten ing vakum ing vakum lan nyedhiyakake kahanan sing luwih apik kanggo deposisi film tipis. Mulane, sistem sirkulasi penyejukan nitrogen sing darmabakti dibutuhake kanggo peralatan MBE kanggo nyedhiyakake pasokan saka -196 ° C Cairan nitrogen.
Sistem sirkulasi Cairan nitrogen
Sistem sirkulasi nitrogen cair nitrogen
● tank cryogenic
● Pipa utama lan cabang vakum jacked / jacked selang
● MBE Pemisahan fase Khusus MBE lan pipa ekzos vakum jacketed
● macem-macem katup jacked vakum
● alangan gas-cairan
● Filter jacketed vaceum
● Sistem pompa vakum dinamis
● Sistem pemerintah precooling lan purge
Perusahaan Peralatan Crimogenik HL wis ngeweruhi panjaluk sistem pendinginan Nitrogen MBE, tulang punggung teknis sing bisa sukses kanggo teknologi MBE khusus kanggo teknologi MBE khusus kanggo Teknologi MBE lan set lengkap insulat vakumedSistem Piping, sing wis digunakake ing pirang-pirang perusahaan, universitas lan institusi riset.
Peralatan Crimogen HL
Peralatan Crimogenik HL sing didegaké ing taun 1992 yaiku merek sing ana hubungane karo perusahaan peralatan suci Chengdu ing China. Peralatan HL Cryogenik setya kanggo desain lan pabrik sistem piping cryogenik insulated vakogenik inolasi lan peralatan dhukungan sing gegandhengan.
Kanggo informasi luwih lengkap, bukak situs web resmiwww.hlcryo.com, utawa email menyanginfo@cdholy.comWaca rangkeng-.
Wektu Pos: Mei-06-2021
