Sistem cooling nitrogen Cairan digunakake akeh ing industri semikonduktor & chip, kalebu proses,
- Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Tes chip sawise paket COB
Produk sing gegandhengan
Seri Pipa Insulated Vakum
Seri Selang Fleksibel Terisolasi Vakum
Sistem Pompa Vakum Dinamis
Vacuum Insulated Phase Separator Series
Vacuum Insulated Valve Series
Perlengkapan Dhukungan Sistem Pipa
MOLEKULER BEAM EPITAXY
Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) dikembangake ing taun 1950-an kanggo nyiapake bahan film tipis semikonduktor kanthi nggunakake teknologi penguapan vakum. Kanthi pangembangan teknologi vakum ultra-dhuwur, aplikasi teknologi wis ditambahi ing bidang ilmu semikonduktor.
HL wis ngeweruhi dikarepake MBE Cairan nitrogen sistem cooling, diatur backbone technical kanggo kasil berkembang MBE Cairan nitrogen sistem cooing khusus kanggo teknologi MBE lan pesawat lengkap vakum sistem pipa terisolasi, kang wis digunakake ing akeh Enterprises, universitas lan institusi riset. .
Masalah umum industri semikonduktor & chip kalebu,
- Tekanan Nitrogen Cair menyang Peralatan Terminal (MBE). Nyegah Kakehan Tekanan saka ngrusak Peralatan Terminal (MBE).
- Multiple Cryogenic Liquid Inlet lan Outlet Controls
- Suhu Nitrogen Cairan menyang Peralatan Terminal
- Jumlah Emisi Gas Cryogenic sing Cukup
- (Otomatis) Ngalih Garis Utama lan Cabang
- Imbuhan meksa (Ngurangi) lan Stabilitas VIP
- Mbusak Kotoran lan Ampas Es saka Tank
- Wektu Ngisi Peralatan Cairan Terminal
- Precooling Pipa
- Resistance Cairan ing Sistem VIP
- Ngontrol Mundhut Nitrogen Cairan Sajrone Layanan Pedhot Sistem
HL kang Vacuum Insulated Pipe (VIP) dibangun kanggo ASME B31.3 Pressure Piping kode minangka standar. Pengalaman teknik lan kemampuan kontrol kualitas kanggo njamin efisiensi lan efektifitas biaya pabrik pelanggan.
SOLUSI
HL Cryogenic Equipment nyedhiyakake Sistem Pipa Insulated Vakum kanggo nyukupi syarat lan kondisi industri semikonduktor & chip:
1.Sistem Manajemen Mutu: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2. Pemisah Fase Khusus kanthi Inlet lan Outlet Cairan Cryogenic Multiple kanthi fungsi kontrol otomatis nyukupi syarat emisi gas, nitrogen cair daur ulang lan suhu nitrogen cair.
3. Desain exhaust sing cukup lan pas wektune njamin yen peralatan terminal tansah bisa digunakake ing nilai tekanan sing dirancang.
4.Barrier Gas-Cairan diselehake ing pipa VI vertikal ing mburi pipa VI. Barrier Gas-Cairan nggunakake prinsip segel gas kanggo mblokir panas saka mburi pipeline VI menyang Piping VI, lan èfèktif nyuda mundhut saka nitrogen Cairan sak layanan discontinuous lan intermiten saka sistem.
5.VI Piping Controlled dening The Vacuum Insulated Valve (VIV) Series: Kalebu Vacuum Insulated (Pneumatic) Shut-off Valve, Vacuum Insulated Check Valve, Vacuum Insulated Regulating Valve etc. Macem-macem jinis VIV bisa digabungake modular kanggo ngontrol VIP minangka dibutuhake. VIV digabungake karo prefabrikasi VIP ing pabrikan, tanpa perawatan Insulated ing situs. Unit segel VIV bisa diganti kanthi gampang. (HL nampa merek klep cryogenic sing ditunjuk dening pelanggan, lan banjur nggawe klep terisolasi vakum dening HL. Sawetara merek lan model klep bisa uga ora bisa digawe dadi klep terisolasi vakum.)
6. Kebersihan, yen ana syarat tambahan kanggo kebersihan permukaan tabung njero. Disaranake pelanggan milih pipa stainless steel BA utawa EP minangka pipa jero VIP kanggo nyuda tumpahan baja stainless.
7.Vacuum terisolasi Filter: ngresiki adoh impurities bisa lan turahan es saka tank.
8.After sawetara dina utawa maneh mati utawa pangopènan, iku banget perlu kanggo precool VI Piping lan peralatan terminal sadurunge Cairan cryogenic wis mlebu, supaya minangka kanggo supaya slag es sawise Cairan cryogenic langsung lumebu VI Piping lan peralatan terminal. Fungsi precooling kudu dianggep ing desain. Nyedhiyakake proteksi sing luwih apik kanggo peralatan terminal lan peralatan dhukungan VI Piping kayata katup.
9.Suit kanggo loro Dynamic lan statis vakum terisolasi (Fleksibel) Sistem Piping.
10. Sistem Pipa Insulated Vakum Dinamis (Fleksibel): Kasusun saka Selang Fleksibel VI lan / utawa Pipa VI, Selang Jumper, Sistem Katup Terisolasi Vakum, Pemisah Fase lan Sistem Pompa Vakum Dinamis (kalebu pompa vakum, katup solenoid lan pengukur vakum dll. ). Dawane selang fleksibel VI tunggal bisa disesuaikan miturut syarat pangguna.
11. Macem-macem Jinis Sambungan: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Type lan Welded Connection bisa dipilih. Tipe VBC ora mbutuhake perawatan terisolasi ing situs.
